ULM/ULR-355 200 W

UV高出力ファイバーレーザー

IPG Photonicsは、最大200 Wの平均出力によって355 nmで動作するハイパワーUVシングルモードファイバーレーザーである新しい製品群を発売しました。ULM/ULR-355シリーズは、信頼性の高い効率的なファイバーレーザーテクノロジーを利用し、高い繰り返し率の動作形態を活用して、少ない電力消費とコンパクトな設置面積で、前例のないUV出力レベルを達成しています。すべてのファイバーテクノロジーによって、シングルモードビーム品質と優れた電力の安定性を維持しながら、広範な動作出力を利用できます。堅牢かつ高性能な産業レベルの高出力UVファイバーレーザーとして、各種アプリケーションで対応可能です。

3D

機能

波長355 nm

2600 W未満の電力消費

最大200 Wの出力 リニア偏光
1.3未満のビーム品質M2 頑丈設計
電力安定性1% 工業性能
  ULM/ULR-355-50

ULM/ULR-355-100

開発中

ULM/ULR-355-200

開発中

波長 nm 355± 0.5
動作モード パルス
平均出力 W 50 100 200
電力可変性 % 1~100
パルス幅 ns ~1.4
繰り返し率 MHz 20 40 80
電力安定性* % ±2
偏光 リニア、100:1超
ビーム品質 M2 < 1.3


*8時間超、T=定数

OEMモジュールサイズ(幅×奥行×高さ) mm 332 × 527 × 72
ラックマウント型コンソールサイズ(幅×奥行×高さ) mm 448 × 683 × 176
光学ヘッドサイズ(幅×奥行×高さ) mm 340 × 390 × 90
冷却方法 水冷
OEMモジュールの供給電圧 VDC 48 90
ラックマウント型供給電圧 VAC 単相50/-60 Hz、200~240
電力消費 W  <800  <1400  <2600
ULM-ULR-355-200 Datasheet(開発中)

アプリケーション

レーザーの直接イメージング(LDI) LTPSディスプレイのアニーリング
太陽電池製造 ステレオリソグラフィー
ウェハーのスクライビング・パターニング      半導体ウェハー・マスクの検査

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