IPG Photonicsは、最大200 Wの平均出力によって355 nmで動作するハイパワーUVシングルモードファイバーレーザーである新しい製品群を発売しました。ULM/ULR-355シリーズは、信頼性の高い効率的なファイバーレーザーテクノロジーを利用し、高い繰り返し率の動作形態を活用して、少ない電力消費とコンパクトな設置面積で、前例のないUV出力レベルを達成しています。すべてのファイバーテクノロジーによって、シングルモードビーム品質と優れた電力の安定性を維持しながら、広範な動作出力を利用できます。堅牢かつ高性能な産業レベルの高出力UVファイバーレーザーとして、各種アプリケーションで対応可能です。
波長355 nm |
低消費電力 |
最大出力200 W | コンパクト |
ビーム品質M² <1.5 | 直線偏光 |
出力安定性2% | 産業用途の高性能 |
ULM/ULR-50 |
ULM/ULR-100 |
ULM/ULR-355-200* |
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波長 nm | 355 | ||
動作モード | パルス QCW | ||
平均出力 W | 50 | 100 | 200 |
出力調整範囲 % | 10~100 | ||
パルス幅 ns | ~1.5 | ||
繰り返し率 MHz | 20 | 40 | 80 |
出力安定性** % | ±2 | ||
偏光 | リニア >100:1 | ||
ビーム品質 M2 | < 1.5 |
*開発中
**8時間超、T=定数
OEMモジュールサイズ(幅×奥行×高さ) mm | 332 × 527 × 72 | ||
ラックマウント型コンソールサイズ(幅×奥行×高さ) mm | 448 × 678 × 176 | ||
光学ヘッドサイズ(幅×奥行×高さ) mm | 260 × 310 × 75 | ||
冷却方法 | 水冷 | ||
OEMモジュールの供給電圧 VDC | 48 | 90 | |
ラックマウント型供給電圧 VAC | 単相50/-60 Hz、200~240 | ||
電力消費 W | <900 | <1400 | <2600 |
レーザーの直接イメージング(LDI) | LTPSディスプレイのアニーリング |
太陽電池製造 | ステレオリソグラフィー |
ウェハーのスクライビング・パターニング | 半導体ウェハー・マスクの検査 |