ULM-355ULR-355

ULM/ULR-355 200 W

高出力UVファイバーレーザー

IPG Photonicsは、最大200 Wの平均出力によって355 nmで動作するハイパワーUVシングルモードファイバーレーザーである新しい製品群を発売しました。ULM/ULR-355シリーズは、信頼性の高い効率的なファイバーレーザーテクノロジーを利用し、高い繰り返し率の動作形態を活用して、少ない電力消費とコンパクトな設置面積で、前例のないUV出力レベルを達成しています。すべてのファイバーテクノロジーによって、シングルモードビーム品質と優れた電力の安定性を維持しながら、広範な動作出力を利用できます。堅牢かつ高性能な産業レベルの高出力UVファイバーレーザーとして、各種アプリケーションで対応可能です。

3D

機能

波長355 nm

電力消費 <2800 W

最大出力200 W リニア偏光 >100:1
ビーム品質M² <1.3 産業向け高性能
出力安定性2%
  ULM/ULR-50

ULM/ULR-100

ULM/ULR-200*

波長 nm 355
動作モード パルス
平均出力 W 50 100 200
電力可変性 % 1~100
パルス幅 ns ~1.4
繰り返し率 MHz 20 40 80
出力安定性** % ±2
偏光 リニア >100:1
ビーム品質 M2 < 1.3

*開発中

**8時間超、T=定数

OEMモジュールサイズ(幅×奥行×高さ) mm 332 × 527 × 72
ラックマウント型コンソールサイズ(幅×奥行×高さ) mm 448 × 678 × 176
光学ヘッドサイズ(幅×奥行×高さ) mm 260 × 310 × 75
冷却方法 水冷
OEMモジュールの供給電圧 VDC 48 90
ラックマウント型供給電圧 VAC 単相50/-60 Hz、200~240
電力消費 W  <800  <1400  <2600
ULM-ULR-355-200 Datasheet(開発中)

アプリケーション

レーザーの直接イメージング(LDI) LTPSディスプレイのアニーリング
太陽電池製造 ステレオリソグラフィー
ウェハーのスクライビング・パターニング      半導体ウェハー・マスクの検査

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