<p>レーザースクライビングでは、部分的な切断の後に亀裂を<p>
<p>生じさせます。スクライビングは、通常はテープ上での<p>
<p>完全な切断であるダイシングとは異なります。LEDと機器の<p>
<p>スクライビングアプリケーションで一般的に考慮すべき点は、<p>
<p>溝配置の精度、熱影響部（HAZ）を最小限にすること、<p>
<p>ウェハーあたりの使用可能なダイを増やすために<p>
<p>可能な限り細いカーフ幅（最小2.5 µm）にすること、<p>
<p>最高のスループットを出すために<p>
<p>最大限の加工速度を実現することです。<p>
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スクライビングは、半導体産業で使われる、ダイのシンギュレーション技術を表す用語です。この手法では、ウェハーまたは基板を一つのプロセスツールで部分的に切断し、その後の「ブレーキング」ステップで個々のダイに分割してウェハーをスクライブ線に沿って分離します。スクライビングはこの点で、一度の加工ステップで完全に切断するダイシングとは異なります。スクライビングは、多くの半導体技術で応用されており、特にLEDおよびIII-V族半導体産業で使用されています。これらの産業には、ダイ分離ストリートが細い比較的小型のウェハーを使うという特徴があります。 LEDウェハーは高価なので、ウェハーの面積は貴重です。 |
UVレーザーを使って加工した場合、より引き締まった細くクリーンなカットになり、従来のソーによるスクライビング手法よりも損傷を受けるダイが少ないため、ウェハーあたりのダイ数が多く、生産高も高くなります。 IPGスクライビングシステムは、最適な結果を出す高精度な実証済みの製造プロセスを実現し、ユーザーは特定のアプリケーションニーズに応じて、プロセスパラメータを柔軟に調整できます。 レーザースクライビングで通常使用されるIPGのシステムは、手動ロード用に構成できるほか、完全自動の部品ハンドリングとマシンビジョンで構成して、最高のスループットと無人操作を実現することもできます。 |
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サファイアスクライビング サファイアスクライビングは、独自のラインビーム技術を使って、LED製造に使用されるウェハー上で行われます。細いカーフにより、ダイパッキングの密度が高くなり、ウェハーの生産高が上がります。ラインビームによって、加熱の影響を減らしながら使用可能なレーザー出力を有効に利用でき、スクライビングのスループットが向上します。この例では、LED素子ダイシングのためのサファイアスクライビングを示します。カーフ幅は2.5 µmです。 システム：サファイアウェハースクライバー レーザー：ピコ秒レーザー |
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GaAs・GaPウェハーのスクライビング 1台のレーザースクライビングシステムのスループットは、従来のダイ分離ツールを複数組み合わせたものに取って代わり、さらに超えることができます。図では、30 μm深度のカットに対して秒あたり300 mmでGaPスクライビングを行っています。この深度は、最大約250 µmの厚さのウェハーを分断する上で十分な深さです。同様のウェハーに対するUVレーザースクライビング速度は最長6分です。ソーやダイヤモンド切削工具だと2時間もかかります。 レーザー：ピコ秒レーザー、グリーンnsパルスレーザー、UV nsパルスレーザー |
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炭化ケイ素のスクライビング 炭素ケイ素の使用は、広バンドギャップ（WBG）半導体などの高電圧、高出力コンポーネントで急速に増えています。スクライビング手法には、トレンチアブレーションがあります。また、破片が少なく、ダイの分断と分離が非常に容易な独自の内部材料スクライブもあります。図は、秒あたり300 mmでスクライビングされた100 μmのSiCを示します。 レーザー：ピコ秒レーザー、グリーンnsパルスレーザー、UV nsパルスレーザー |
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