<p>従来の化学エッチングまたはプラズマエッチング手法は高い品質を</p>
<p>生みだしますが、ほとんどの場合時間がかかり複雑で、</p>
<p>製造できる形状の選択肢が限定的になります。</p>
<p>さらに、高感度の光学素子がシリコンウェハーに</p>
<p>組み込まれるフォトニックアプリケーションの場合、</p>
<p>エッチングはたいてい不可能か推奨されません。</p>
<p>短パルスUVレーザーは、幅広い3D形状を作成する、</p>
<p>高速で柔軟な代替ソリューションです。</p>
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UVレーザーは、大面積の構造化と3D微細加工に優れた威力を発揮します。高度なビーム照射と投射技術により、対象物に対し、縁が鋭く均一なエネルギー密度分布が広がります。これによりパルスごとに除去される材料の量を微調整できるので、高分解能の機械加工と高品質な表面仕上げが実現します。 |
通常の除去速度は、パルスあたり0.05～1.5 μmです。単一パターンを繰り返す必要がある場合は、複数の形状を同時に加工するために大きいビーム断面を使って、マスク自体に多数の形状を含めることができます。マスクと加工対象物の両方の動作を調整することで、大きくて複雑なパターンを作成できます。 |
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ポリマーのマイクロフライス加工 検流計スキャニングと高速パルスレーザーを併用すると、複雑な形状を定義できます。右に示すマイクロ流体チャネルは、ポリカーボネートコンポーネントに機械加工されたものです。 システム：マイクロ流体の穴あけ加工 レーザー：UV nsパルスレーザー、グリーンnsパルスレーザー、ピコ秒レーザー |
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セラミックのマイクロフライス加工 IPGのシステムでは、厚さ1 mmまでのセラミックに対して、アブレーションおよび熱による微細フライス加工、切断、スクライビングを行い、サブミクロンの形状を正確な寸法で形成することができます。ここでは、セラミックシリンダーの精密な溝を示します。 システム：セラミック微細加工 レーザー：UV nsパルスレーザー、グリーンnsパルスレーザー、ピコ秒レーザー |
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金属のマイクロフライス加工 例に示されているのは、ピコ秒レーザーを使った、モリブデンプレートに対する約30 μmの幅と深度の溝の機械加工です。 システム：半導体ダイシング レーザー：UV nsパルスレーザー、グリーンnsパルスレーザー、ピコ秒レーザー |
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