Wärmebehandlung

Durch Laserbestrahlung unter kontrollierten Bedingungen kann

die Rauheit einer Materialoberfläche erhöht oder verringert

werden, um eine lokalisierte oder großflächige

Oberflächenerwärmung und kontrollierte Aktivierung

von Dotierstoffen durchzuführen.                                           

Zu den spezifischen Anwendungen zählen die

Dotierung von Silizium und Siliziumkarbid, die

Wärmebehandlung von Silizium sowie die Bildung

von ohmschen Kontakten.

Die von Lasern erzeugte Erwärmung zeichnet sich durch zwei wichtige Eigenschaften aus:

• Die Menge der angewendeten Energie kann sehr genau gesteuert werden und ist in der Regel auf die Materialoberfläche begrenzt.
• Der Angriffspunkt der Wärme kann auf einige Mikrometer genau definiert werden.

IPG bietet Produktionslösungen mit einem großen Spektrum von Laserwellenlängen, Laserenergien und Strahlführungssystemen an. In Zusammenarbeit mit Kunden ermitteln wir experimentell die optimalen Prozessbedingungen für die Anwendung und entwickeln Lösungen, die eine einheitliche, wiederholbare und automatisierte Bearbeitung ermöglichen.

System: Selektive Laserwärmebehandlung

Laser: QCW-UV-Faserlaser

  Bestrahlung
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