Wärmebehandlung
Durch Laserbestrahlung unter kontrollierten Bedingungen kann
die Rauheit einer Materialoberfläche erhöht oder verringert
werden, um eine lokalisierte oder großflächige
Oberflächenerwärmung und kontrollierte Aktivierung
von Dotierstoffen durchzuführen.
Zu den spezifischen Anwendungen zählen die
Dotierung von Silizium und Siliziumkarbid, die
Wärmebehandlung von Silizium sowie die Bildung
von ohmschen Kontakten.