Laserfräsen

3D Fräsen

Obwohl konventionelle chemische oder Plasmaätzverfahren

qualitativ hochwertige Ergebnisse liefern, sind sie oft

langsam, kompliziert und bieten nur begrenzte Möglichkeiten

im Hinblick auf die Geometrien, die erzeugt werden können.

Darüber hinaus ist das Ätzen bei photonischen

Anwendungen, bei denen empfindliche optische

Bauteile auf Siliziumwafern integriert sind, oft

nicht möglich oder empfehlenswert. UV-Laser 

mit kurzen Pulsen sind schnelle und flexible 

Alternativen für die Erzeugung einer Vielzahl

von Strukturen mittels 3D Fräsen.

UV-Laser eignen sich hervorragend für die großflächige Strukturierung und das 3D Fräsen (3D micro milling) bzw. Laserfräsen. Moderne Beleuchtungs- und Projektionstechniken ermöglichen eine exakte und einheitliche Verteilung der Energiedichte auf dem Zielobjekt. Da das pro Puls abgetragene Materialvolumen dadurch beim Laserfräsen präzise kontrolliert werden kann, sind eine hochauflösende Bearbeitung und eine hohe Oberflächenqualität möglich. Typische Abtragsraten

 

liegen beim Laserfräsen zwischen 0,05 – 1,5 µm/Puls. Wenn ein einzelnes Muster wiederholt werden muss, kann die Maske selbst eine Reihe von Strukturen enthalten. Dabei wird der große Strahlquerschnitt zur gleichzeitigen Bearbeitung mehrerer Strukturen genutzt. Durch die Koordination der Bewegung der Maske und des Werkstücks können beim 3D Fräsen große und komplexe Fräsungen erzeugt werden.


Mikro- und 3D Fräsen von Kunststoffen

Galvanometer-Scanner in Kombination mit einem gepulsten Hochgeschwindigkeitslaser ermöglichen das 3D Fräsen komplexer Formen. Der rechts dargestellte Mikrofluidikkanal wird in eine Polykarbonatkomponente gefräst.

System: Bohren mikrofluidischer Bauteile

Laser: Gepulste UV-Nanosekundenlaser, gepulste grüne Nanosekundenlaser, Pikosekundenlaser

  Mikrofluidische Bauteile

Mikro- und 3D Fräsen von Keramik

Unsere Systeme unterstützen das ablative und thermische Mikro-Laserfräsen, -schneiden und -ritzen von Keramiken für Materialdicken von bis zu 1 mm mit Einbringung von Strukturen im Submikrometerbereich und gleichzeitig hoher Maßhaltigkeit. Die Abbildung zeigt Präzisionsnuten in einem Keramikzylinder, hergestellt mittels Laserfräsen.

System: Mikrobearbeitung von Keramik

Laser: Gepulste UV-Nanosekundenlaser, gepulste grüne Nanosekundenlaser, Pikosekundenlaser

  keramik


Mikro- und 3D Fräsen von Metall

Das Beispiel zeigt das Laserfräsen von ca. 30 µm breiten und tiefen Nuten auf einer Molybdänplatte mit einem Pikosekundenlaser.

System: Wafer-Dicing

Laser: Gepulste UV-Nanosekundenlaser, gepulste grüne Nanosekundenlaser, Pikosekundenlaser

  Molybdän
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