3D-Mikrofräsen

Obwohl konventionelle chemische oder Plasmaätzverfahren

qualitativ hochwertige Ergebnisse liefern, sind sie oft

langsam,kompliziert und bieten nur begrenzte Möglichkeiten

im Hinblick auf die Geometrien, die erzeugt werden können.

Darüber hinaus ist das Ätzen bei photonischen

Anwendungen, bei denen empfindliche optische

Bauteile auf Siliziumwafern integriert sind, oft

nicht möglich oder empfehlenswert. UV-Laser 

mit kurzen Pulsen sind schnelle und flexible 

Alternativen für die Erzeugung einer Vielzahl

von 3D-Strukturen.

UV-Laser eignen sich hervorragend für die großflächige Strukturierung und 3D-Mikromaterialbearbeitung. Moderne Beleuchtungs- und Projektionstechniken ermöglichen eine exakte und einheitliche Verteilung der Energiedichte auf dem Zielobjekt. Da das pro Puls abgetragene Materialvolumen dadurch präzise kontrolliert werden kann, sind eine hochauflösende Bearbeitung und eine hohe Oberflächenqualität möglich. Typische Abtragsraten

 

liegen zwischen 0,05 – 1,5 µm/Puls. Wenn ein einzelnes Muster wiederholt werden muss, kann die Maske selbst eine Reihe von Strukturen enthalten. Dabei wird der große Strahlquerschnitt zur gleichzeitigen Bearbeitung mehrerer Strukturen genutzt. Durch die Koordination der Bewegung der Maske und des Werkstücks können große und komplexe Fräsungen erzeugt werden.


Mikrofräsen von Kunststoffen

Galvanometer-Scanner in Kombination mit einem gepulsten Hochgeschwindigkeitslaser ermöglichen die Definition komplexer Formen. Der rechts dargestellte Mikrofluidik Kanal wird in eine Polykarbonat Komponente gefräst.

System: Bohren mikrofluidischer Bauteile

Laser: Gepulste UV-Nanosekundenlaser, gepulste grüne Nanosekundenlaser, Pikosekundenlaser

  Mikrofluidische Bauteile

Mikrofräsen von Keramik

Unsere Systeme unterstützen das ablative und thermische Mikrofräsen, -schneiden und -ritzen von Keramiken für Materialstärken von bis zu 1 mm mit Einbringung von Strukturen im Submikrometerbereich und gleichzeitig hoher Maßhaltigkeit. Die Abbildung zeigt Präzisionsnuten in einem Keramikzylinder.

System: Mikrobearbeitung von Keramik

Laser: Gepulste UV-Nanosekundenlaser, gepulste grüne Nanosekundenlaser, Pikosekundenlaser

  keramik


Mikrofräsen von Metall

Das Beispiel zeigt das Fräsen von ca. 30 µm breiten und tiefen Nuten auf einer Molybdänplatte mit einem Pikosekundenlaser.

System: Wafer-Dicing

Laser: Gepulste UV-Nanosekundenlaser, gepulste grüne Nanosekundenlaser, Pikosekundenlaser

  Molybdän
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