3D Laser Fräsen / Abtragen
Obwohl konventionelle chemische oder Plasmaätzverfahren
qualitativ hochwertige Ergebnisse liefern, sind sie oft
langsam, kompliziert und bieten nur begrenzte Möglichkeiten
im Hinblick auf die Geometrien, die erzeugt werden können.
Darüber hinaus ist das Ätzen bei photonischen
Anwendungen, bei denen empfindliche optische
Bauteile auf Siliziumwafern integriert sind, oft
nicht möglich oder empfehlenswert. UV-Laser
mit kurzen Pulsen sind schnelle und flexible
Alternativen für die Erzeugung einer Vielzahl
von Strukturen mittels 3D Fräsen.