Трехмерная микрообработка

Хотя традиционные технологии химического и плазменного

травления дают высококачественный результат, они
часто являются медленными и сложными. К тому же

при применении в фотонике, предполагающей,

что чувствительные оптические устройства

встроены в кремниевые подложки, травление

часто невозможно и не рекомендовано.

Короткоимпульсные УФ-лазеры обеспечивают

быстрые и гибкие альтернативы для

создания широкого диапазона

трехмерных применений.

УФ-лазеры являются оптимальными для задачи структурирования большой области и 3D-микрообработки. Усовершенствованные технологии обеспечивают однородное и четко очерченное распределение плотности потока энергии. 

 

 Это приводит к точному контролю объема материала, удаляемого за один импульс, обеспечивая обработку с высоким разрешением и отличное качество поверхности.


Микрообработка полимеров

Гальванометрическое сканирование в сочетании с высокоскоростным импульсным лазером позволяет получать геометрию сложных форм. Микрожидкостный канал, показанный справа, обрабатывается как поликарбонатный компонент.

Система: микрожидкостное сверление

Лазеры: ультрафиолетовые наносекундные импульсные лазеры, наносекундные импульсные лазеры с зеленым излучением, 10-пикосекундные импульсные лазеры

  microfluidic

Микрофрезерование керамики

Наши системы могут выполнять тепловое микрофрезерование керамики, резку и скрайбирование материалов толщиной до 1 мм с субмикронной точностью размещения и размеров. Здесь мы представляем претенциозные канавки в керамическом цилиндре.

Система: микрообработка керамики

Лазеры: ультрафиолетовые наносекундные импульсные лазеры, наносекундные импульсные лазеры с зеленым излучением, 150-пикосекундные импульсные лазеры, 10-пикосекундные импульсные лазеры

  ceramic


Микрофрезерование металла

Пример показывает обработку канавок ~ 30 мкм шириной и глубиной на молибденовой пластине с помощью пикосекундного лазера.

Система: разделение полупроводниковой пластины на кристаллы

Лазеры: ультрафиолетовые наносекундные импульсные лазеры, наносекундные импульсные лазеры с зеленым излучением, 150-пикосекундные импульсные лазеры, 10-пикосекундные импульсные лазеры

  moly
Контакты
Обратитесь за поддержкой в наш отдел продаж. Запросите подробную информацию о продукции или задайте нам вопрос.