选择性材料去除

选择性材料去除是指:使用激光从一个复杂的部分

中仅去除一种类型或区域的材料,而不损坏其余部

分。选择性可以通过能量相关的深度控制、波长相

关的材料相互作用和空间选择性来实现。微材料去

除产品包括LED制造业中用于蓝宝石晶圆分离的激

光提离系统,以及用于微电子电路图案的UV烧蚀

工具。烧蚀涂层去除是指采用全自动大功率系统

进行油漆剥离、除锈、模具清洗、焊前表面修

复和清洗。

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